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Alto caudal. Alta temperatura.
Alto rendimiento.

La próxima generación de fabricación de semiconductores empieza aquí.

Descargue el catálogo de válvulas ALD de pureza ultra alta

Posibilitando el Futuro

semiconductor ultrahigh purity clean room

La ALD20 ofrece la fiabilidad y rendimiento que los clientes esperan de las válvulas de deposición de capas atómicas (ALD) de ultra alta pureza Swagelok, y al mismo tiempo ofrece una estabilidad de la temperatura y posibilidades de caudal que antes eran inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y químicos de baja presión de vapor, y conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar una tecnología avanzada hoy y mañana.

Caudal mejorado. Volumen minimizado.

La nueva válvula ALD20 UHP está diseñada específicamente para ampliar los límites de la tecnología de las válvulas de deposición de capas atómicas, permitiendo caudales dos o tres veces superiores a los que se pueden alcanzar con las válvulas ALD convencionales. Ofrece a los fabricantes de semiconductores el potencial no sólo de aumentar la producción y mejorar la eficiencia, sino también de hacerlo sin cambiar significativamente los procesos.

  • La ALD20 puede proporcionar un caudal de 1,2 Cv con el mismo volumen (1,5 pulg.) que las válvulas ALD convencionales, ofreciendo un rendimiento mejorado sin necesidad de modificar el equipo existente.
  • Una segunda variante de válvula estándar ALD20 de volumen ligeramente mayor (1,75 pulgadas) puede alcanzar un caudal aún mayor, de 1,7 Cv—el más alto disponible actualmente de una válvula UHP de ciclo ultra alto.
  • También hay disponibles coeficientes de caudal personalizados.
válvula de pureza ultra alta ald20

Consistencia Total

El diseño del ALD20 garantiza un funcionamiento constante a lo largo de un ciclo de vida ultra alto gracias a algunas características clave:

  • Toda la válvula y el actuador son completamente sumergibles en una caja de gas desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F), eliminando la necesidad de aislar el actuador durante el calentamiento. El resultado es que mejora la consistencia de la deposición, con los gases de baja presión de vapor mantenidos a temperaturas que conducen a un caudal óptimo.
  • Las opciones de materiales del cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR o de Aleación 22, ofrecen una mayor resistencia a la corrosión para soportar fluidos cada vez más agresivos.
  • El fuelle altamente pulido con un acabado superficial de 5 µpulg. Ra permite una operación limpia a lo largo de un ciclo de vida ultra alto para la integridad del proceso.
  • Un actuador neumático puede proporcionar una actuación de alta velocidad (<10 ms) consistente, para un caudal preciso y constante que satisfaga los requisitos de dosificación.

Especificaciones

Presión de Servicio Vacío a 1,4 bar (20 psig)
Presión de Rotura >220 bar (3200 psig)
Presión de Actuación 4,8 a 6,2 bar (70 a 90 psig)
Temperatura 10° a 200°C (50° a 392°F )
Coeficiente de caudal (Cv) 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto)
Materiales del Cuerpo Aleación 316L VIM-VAR o Aleación 22
Material del fuelle Aleación 22 (Acabado superficial de 5 μpulg. Ra
Conexiones finales
Tipo (Tamaño) Accesorio VCR® hembra (1/2 pulg.)
Accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg.)
Soldadura de tubo a tope, 0,50 pulg. de largo (1/2 pulg. x 0,049 pulg.)
Montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,5 pulg.)

Para ampliar la información sobre cómo la válvula ALD20 UHP puede ayudar a mejorar la precisión y el rendimiento en aplicaciones de fabricación de semiconductores, sin perder la consistencia o la repetitividad, contacte con su Centro local de Ventas y Servicio Swagelok.

Selección fiable de un producto: El diseñador y usuario del sistema deben revisar la documentación técnica para asegurar una correcta selección de producto. Al seleccionar un producto, habrá que tener en cuenta el diseño global del sistema para conseguir un servicio seguro y sin problemas. El diseñador de la instalación y el usuario son los responsables de la función del componente, de la compatibilidad de los materiales, de los rangos de operación apropiados, así como de la operación y mantenimiento del mismo.

Precaución: No mezcle ni intercambie los componentes de las conexiones finales mediante racores para tubo Swagelok de dos férulas, (u otros productos no regulados por las normativas de diseño industrial) con los de otros fabricantes.