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> Filtros para gas de pureza ultra alta—Serie SCF
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Filtros Swagelok® de Pureza ultra alta serie SCF
El filtro Swagelok de Pureza ultra alta serie SCF, está diseñado para satisfacer los estrictos requerimientos de la norma SEMI E49.8-96. Gracias al elemento cerámico de Membralox® y a la carcasa de acero inoxidable 316L VAR, el filtro UHP serie SCF es una solución para muchas aplicaciones de filtrado de gases.
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Especificaciones
Presión de servicio
Diferencial de presión
Temperatura
Máximo caudal
Material del cuerpo
Acabado superficial interno
Elemento
• Material
• Rango de filtrado
Conexiones finales
• Tipo
• Tamaño |
Hasta 206 bar (3000 psig)
Hasta 172 bar (2500 psi)
Hasta 200°C (400°F)
2700 L/min std
Acero inoxidable 316L VAR
Electropulido a un promedio de 5 µpulg. (0.13 µm) Ra
Alúmina de alta pureza
> 99.9999999 % de 0.0003 µm
Accesorios de cierre frontal VCR®, Montaje modular superficial compatible con IGC® II
1/4, 1/2, y 3/4 pulg. |
Más información
Descargar el catálogo Filtros de gas de pureza ultra alta—Serie SCF.
Descargar el informe técnico Filtros de gas de pureza ultra alta, Serie SCF.
Otros filtros
Filtros en línea totalmente soldados, filtros en línea y en te para servicio general
Filtros coalescentes y de partículas para gases
Características
- Tecnología de filtración cerámica Membralox
- Alta eficiencia de eliminación de partículas
- Generación de partículas extraordinariamente baja
- Gran capacidad de eliminación de humedad
- Desgasificación extremadamente baja
- Excepcional compatibilidad química
- Alta capacidad de presión diferencial
- Construcción totalmente soldada
- Configuraciones de instalación en línea y de montaje superficial
Tecnología de filtración cerámica Membralox
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| El elemento cerámico es un bloque de múltiples canales o una configuración tubular de alúmina de alta pureza. |
La imagen del microscopio escáner electrónico, muestra las dos capas de la membrana del elemento filtrante: ultrafina y fina (de arriba a abajo). |
El elemento cerámico Membralox es un medio de filtración multicapa. El material es alúmina de alta pureza con una estructura de poro controlada con precisión.
El elemento cerámico Membralox es un bloque extruido de canales multicaudal, o una estructura tubular. Los canales de caudal de la estructura están recubiertos con capas de membrana de precisión controlada. El proceso de sinterizado final, funde las capas entre sí.
El resultado es un elemento filtrante diseñado para minimizar la generación de partículas, con características de caudal mejoradas. Según los ensayos SEMI F38-0699, el rango de filtración del elemento filtrante es superior al 99.9999999 % a 0.003 µm.
El elemento cerámico de Membralox tienen una alta temperatura de servicio y resistencia química, así como una mayor capacidad de eliminación de partículas y menor desgasificación.
Pruebas
Cada filtro serie SCF se somete a prueba de fugas con helio para un máximo caudal de fugas de 9 × 10–9 cm3/s std. El diseño de filtro serie SCF ha sido sometido a prueba de fugas con helio, para un máximo caudal de fugas de 2 × 10–10 cm3/s std.
Limpieza y embalaje
Todos los filtros serie SCF se procesan de acuerdo a la especificación de proceso Swagelok de Pureza ultra alta (SC-01).
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